«Толпа» положительных зарядов вблизи катода вначале доставляла много хлопот. Обрушиваясь на катод, они с силой бомбили его поверхность. Катод не только нагревался, но и «терял в весе». От катода отлетали мельчайшие частицы, подобно тому, как летят брызги, если бросать в воду камни. «Брызги» вещества, из которого сделан катод, разлетаясь по трубке, покрывали все вокруг тонким слоем металла и, кроме того, жадно поглощали газ, которым была наполнена трубка.
Таким образом катодное распыление не только разрушало катод, но и лишало трубку газа-наполнителя без которого не может существовать разряд.
Но так же, как сумели заставить служить искру-разрушительницу, так же удалось получать пользу и от катодного распыления.
На первых порах катодное распыление применили как средство для очистки поверхностей электродов от посторонних веществ, пылинок и т. д. Разрядную трубку помещали внутрь катушки индуктивности, питаемой током высокой частоты. В трубке вспыхивал разряд, и все металлические детали попадали под обстрел тяжелых ионов. Ионы мигом снимали с металла тончайший слой и тем самым очищали его поверхность.
Если вблизи катода поместить пластинку слюды или стекла и зажечь в трубке тлеющий разряд, то очень скоро пластинка окажется покрытой тонким слоем металла, из которого сделан катод. Эту пленку отделяют и рассматривают в электронном микроскопе. Это помогает проникнуть в тайны строения веществ.
Удалось использовать и поглощение газа распыленными частицами.
Известно, что из радиоламп воздух выкачивается. Но как бы тщательно ни делали эту работу, ничтожное количество газа всегда остается в баллоне. Это сильно сказывается на работе радиолампы.
Распыляя внутри радиолампы разные вещества, жадно впитывающие в себя газ, добиваются того, что внутри баллона получается настоящее безвоздушное пространство.
Профессор Спивак и его сотрудники все это имели в виду, когда приступили к созданию первой УИТ. Много времени потратил небольшой коллектив, пока не была создана установка для ионного травления.
В УИТ для получения «узора» на поверхности металла используется ионная артиллерия. Травление производится под небольшим стеклянным колпаком, из которого выкачан воздух и вместо него впущен неон или аргон. Тщательно отшлифованная пластина исследуемого металла помещается на дне этой куполообразной камеры.
Она служит катодом.
Чтобы ионная бомбардировка проходила быстрее, образец нагревается специальной спиралью до нескольких сот градусов.
Когда образец прогреется, включают высокое напряжение. Между анодом и катодом вспыхивает бледноватое пламя тлеющего разряда. Положительные ионы начинают свою работу.
Ионная артиллерия в УИТ — «оружие» необычайно разрушительной силы. Ни один материал, ни одно вещество не может устоять под его ударами.
Разрушение поверхности образца сильнее идет в более «слабых» точках. В результате появляется затейливый рисунок, который позволяет судить о свойствах и строении полученного сплава.
Только ли сплава? Нельзя ли с помощью этого прибора заглянуть в микроструктуру других веществ?
Оказывается, можно. УИТ так же успешно определяет строение полупроводниковых материалов, керамики, стекла. Раньше это было невозможно. Металломикроскоп, в который обычно рассматривается узор, оставшийся на образце после ионной бомбардировки, дает увеличение в полторы-две тысячи раз. Иногда этого увеличения оказывается мало.
В этом случае вблизи образца, перенесшего бомбардировку ионов, распыляют кварц. Когда пленка мельчайших частиц кварца покроет все микроскопические углубления и возвышенности «протравленной» поверхности, образец вынимают из-под колпака и отделяют от него кварцевую пленку. Этот «отпечаток» рассматривают затем в электронном микроскопе при огромном увеличении в сотню тысяч раз.
Ионное травление имеет и еще одно преимущество. Раньше нельзя было следить, как изменяется строение, а значит, и свойства металла или сплава при их нагревании. УИТ позволяет заполнить и этот пробел. Проводя травление при различном нагреве образца, можно полнее узнать его «биографию».
Так плазма тлеющего разряда позволила ученым сделать новый замечательный шаг в исследовании структуры веществ, не поддающихся химическому травлению.