Выбрать главу

Подготовка операторов диффузионных процессов производится в профессионально-технических училищах, после окончания которых учебу можно продолжить на факультетах электронной техники и радиоэлектроники высших учебных заведений соответствующего профиля.

30.7.6. Оператор прецизионной фотолитографии

Фотолитографию называют еще фотогравировкой. Процесс фотолитографии заключается в следующем. Если на пластину полупроводника нанести слой полимера и потом засветить его через специальный негатив или позитив, то есть фотошаблон, изготовленный обычным фотографическим методом, то засвеченные части полимера быстро «состарятся». После такого состаривания пластину промывают в растворителе, который растворяет только не засвеченные участки полимера. Состарившиеся же участки, благодаря прошедшему процессу старения, приобретают новые свойства, которые делают их устойчивыми к воздействию растворителя. Далее пластину помещают в смесь кислот. В результате травления на поверхности оставшихся состарившихся участков возникают лунки и выступы. Процесс искусственного состаривания полимера для получения рисунка на его поверхности называют фотолитографией. С помощью процесса искусственного старения удается выдержать размеры лунок и выступов с точностью до нескольких микрон. Таким методом на пластине полупроводника создаются элементы микросхемы, резисторы и т. д. Метод фотолитографии используется при изготовлении большей части микросхем.

Оператор прецизионной фотолитографии выполняет целый комплекс технологических операций: фотолитографию рисунка всей схемы и резисторов, травление металла с пробельных мест и резисторов, снятие фоторезистора, контроль внешнего вида схемы, проверка электрических параметров схемы и др.

Операторами фотолитографии обычно работают девушки. Достижение высокой точности, в условиях сложности изготовления микросхем, предъявляют определенные психофизические требования к/человеку, избравшему эту профессию. Основным является высокий уровень зрительно-двигательной координации. Работают операторы в специальной одежде в особо чистых помещениях с определенным микроклиматом. Запыленность помещения воздуха на рабочем месте не должна превышать 30 пылинок на 1 м3. Эта профессия одна из самых перспективных в радиоэлектронной промышленности, так как технология производства микросхем постоянно усовершенствуется. Все шире используются лазерные установки, применяются голографические методы, электроннолитография и другие современные технологии.

Подготовку операторов прецизионной фотолитографии производят в средних профессионально-технических училищах.

30.1.7. Юстировщик деталей и приборов

Процесс производства микросхем в зависимости от технологии изготовления включает различные операции, в результате которых микросхеме придаются определенные свойства. Одной из таких операций при производстве толстопленочных микросхем является операция юстировки. Во время этой операции лучом лазера подгоняются до заданного значения сопротивления резисторов микросхемы.

Операция производится на специальной лазерной установке. Плата (основа микросхемы) с резисторами вставляется в контактирующее приспособление. Резисторы по очереди подключаются с помощью щупов к прибору, измеряющему их сопротивление во время подгонки. Подгонка осуществляется следующим образом. Луч лазера с помощью микроскопа наводится на резистор и выжигает часть его материала. При этом изменяется сопротивление резистора, на что указывают показания прибора. Таким образом производится подгонка остальных резисторов. После окончания юстировки проводится контроль получившихся значений сопротивлений резисторов микросхемы.