Идея предоставить иностранной компании доступ к самым передовым исследованиям, проводимым в национальных лабораториях Америки, вызвала ряд вопросов в Вашингтоне. Непосредственного военного применения технологии EUV не было, и до сих пор не было ясно, будет ли EUV работать. Тем не менее, если это произойдет, то США будут зависеть от компании ASML в части инструмента, имеющего фундаментальное значение для всех вычислительных систем. За исключением нескольких чиновников в Министерстве обороны, почти никого в Вашингтоне не волновало. Большинство рассматривало ASML и голландское правительство как надежных партнеров. Для политических лидеров важнее было влияние на рабочие места, а не геополитика. Правительство США потребовало от ASML построить в США завод по производству компонентов для литографических инструментов, поставлять продукцию американским заказчикам и нанимать американский персонал. Однако основная часть НИОКР ASML будет проводиться в Нидерландах. Представители Министерства торговли, Национальных лабораторий и компаний, принимавших участие в проекте, говорят, что не помнят, чтобы политические соображения играли какую-либо роль в принятии правительством решения о реализации этого соглашения.
Несмотря на длительные задержки и огромный перерасход средств, партнерство в области EUV постепенно продвигалось вперед. Не имея возможности участвовать в исследованиях, проводимых в национальных лабораториях США, компании Nikon и Canon решили отказаться от создания собственных EUV-инструментов, оставив ASML единственным в мире производителем. Тем временем в 2001 году ASML купила SVG, последнюю крупную американскую компанию, занимавшуюся литографией. SVG уже значительно отставала от лидеров отрасли, но снова возникли вопросы о том, соответствует ли эта сделка интересам безопасности Америки. В DARPA и Министерстве обороны, которые на протяжении десятилетий финансировали литографическую промышленность, некоторые чиновники выступили против продажи. Конгресс также выразил озабоченность: три сенатора написали президенту Джорджу Бушу, что "в итоге ASML получит все технологии EUV для американского правительства".
Это было неоспоримой правдой. Но могущество Америки находилось на пике. Большинство людей в Вашингтоне считали, что глобализация - это хорошо. В правительстве США преобладало убеждение, что расширение торговли и логистических цепочек будет способствовать миру, побуждая такие державы, как Россия или Китай, сосредоточиться на приобретении богатства, а не геополитической мощи. Утверждения о том, что упадок американской литографии поставит под угрозу безопасность, считались не соответствующими новой эпохе глобализации и взаимосвязи. В то же время представители индустрии микросхем просто хотели как можно эффективнее производить полупроводники. В условиях отсутствия крупных американских литографических компаний им оставалось только сделать ставку на ASML?
Intel и другие крупные производители микросхем утверждали, что продажа SVG компании ASML имеет решающее значение для развития EUV и, следовательно, для будущего вычислительной техники. "Без слияния, - утверждал в 2001 г. новый генеральный директор Intel Крейг Барретт, - разработка новых инструментов в США будет отложена". После окончания холодной войны администрация Буша, только что пришедшая к власти, хотела ослабить контроль за экспортом технологий на все товары, кроме тех, которые имеют прямое военное применение. Администрация описывала эту стратегию как "возведение высоких стен вокруг технологий высочайшей чувствительности". EUV не попала в этот список.
Поэтому инструменты для EUV-литографии нового поколения будут собираться в основном за рубежом, хотя некоторые компоненты будут по-прежнему производиться на заводе в Коннектикуте. Всех, кто поднимал вопрос о том, как США могут гарантировать доступ к EUV-инструментам, обвиняли в сохранении менталитета времен холодной войны в условиях глобализации. Однако бизнес-гуру, рассуждавшие о глобальном распространении технологий, неверно представляли динамику развития событий. Научные сети, создавшие EUV, охватывали весь мир, объединяя ученых из таких разных стран, как Америка, Япония, Словения и Греция. Однако производство EUV было не глобализировано, а монополизировано. Будущее литографии определялось единой цепочкой поставок, управляемой одной компанией.