Выбрать главу

Эксперименты с гетероструктурой из тонких нанопленок нитридов алюминия и галлия, использующихся при изготовлении светодиодов, блестяще подтвердили расчеты. И теперь есть надежда, что новый метод позволит детально исследовать структуру многих электронных устройств, состоящих из набора тонких пленок (полевых транзисторов, светодиодов, солнечных элементов и др.). Прекрасное пространственное разрешение позволит использовать метод при визуализации и контроле перспективных устройств из квантовых точек и других наноструктур.

Однако прежде чем терагерцовые волны станут привычным инструментом технологов, ученым еще предстоит покорпеть в лабораториях. ГА

Напрягает

Новый метод голографической интерферометрии для измерения механических напряжений в электронных устройствах предложили ученые французского Национального центра научных исследований. Метод впервые позволил получить двухмерную картину распределения напряжений на сравнительно большом срезе чипа с разрешением всего несколько нанометров.

Обычно инженеры стараются избегать механических напряжений и деформаций, поскольку они снижают надежность электронных устройств. Однако в последние годы "растянутый" кремний стал привычным компонентом компьютерных чипов. В таком кремнии заметно повышается подвижность носителей заряда, а значит, и скорость переключения транзисторов. По-видимому, механические напряжения будут играть важную роль и в основанной на нанотрубках и нановолокнах электронике будущего.

Сегодня растянутые участки кремния в чипах создают разными способами, которые нередко приводят к сложным двух- и трехмерным механическим деформациям. И без их скрупулезного измерения разработка новых устройств уже невозможна. Однако все известные методы, основанные на Рамановской спектроскопии, дифракции рентгеновских лучей и пр., либо обладают низким разрешением, либо могут покрыть лишь небольшой участок чипа.

Французские ученые предложили скомбинировать два метода: построения муара и электронной голографии. В первом из них когерентный электронный пучок просвечивает пару расположенных друг над другом образцов с одинаковой ориентацией решетки, один из которых — ненапряженный кристалл, а второй — образец, чьи деформации надо исследовать.

Дифрагированные электроны от двух кристаллов интерферируют друг с другом и дают картину деформаций. Но этот метод обладает низким разрешением и позволяет просвечивать только тонкие образцы, которые, учитывая наномасштабы, не так-то просто расположить друг над другом с необходимой точностью. В электронной голографии пучок разделяется на два, один из них проходит сквозь образец, а затем объединяется и интерферирует с опорным пучком с помощью электронной бипризмы. Чтобы объединить оба метода, ученые поместили на пути опорного пучка ненапряженный кристалл и сразу получили картину деформаций с пространственным разрешением лучше четырех нанометров на области размером до одного микрона. Это позволяет исследовать массив сразу из нескольких полевых транзисторов.

Экспериментаторы уверены, что их метод быстро обретет популярность у технологов и разработчиков компьютерных чипов.ГА

Новости подготовили

Галактион Андреев

Александр Бумагин

Егор Васильев

Татьяна Василькова

Владимир Головинов

Евгений Золотов

Денис Коновальчик

Игорь Куксов

Павел Протасов

Дмитрий Шабанов

Константин Шиян

Мотивы и секреты

Мотивы и секретыАвтор: Киви Берд

Опубликовано в журнале "Компьютерра" N27-28 от 22 июля 2008 года

Голландская корпорация NXP, в прошлом подразделение Philips, а ныне крупнейший в мире поставщик RFID-чипов для бесконтактных смарт-карт, подала в суд на ученых университета Radboud. Как уже сообщалось ("КТ" ##721, 728), исследовательская группа университета, занимающаяся проблемами защиты информации, выявила серьезнейшие слабости в криптографии чипов Mifare Classic. Это один их главных продуктов NXP, растиражированный в сотнях миллионов проездных карточек и служебных пропусков по всему миру. Затеянное же ныне судебное разбирательство, по замыслу компании, должно предотвратить нежелательную огласку результатов, полученных учеными, на европейском форуме по компьютерной безопасности ESORICS, который пройдет осенью в Испании.

Однако практически нет сомнений, что помешать публикации материалов о взломах Mifare это не поможет. Во-первых, потому, что об устройстве "секретной" криптосхемы Mifare Classic уже многое известно, и, по свидетельству немца Карстена Ноля (Karsten Nohl), вскрывшего Mifare независимо от голландцев, выявить уязвимости по обнародованным деталям сумеет любой специалист. А во-вторых, работа голландских ученых с подробным описанием их исследования уже опубликована в сети научных препринтов (aps.arxiv.org/abs/0803.2285), где доступна всем желающим.