Аннотация
Диффузия или миграция атомов в веществе, независимо от его формы, является основным следствием существования атомов. В металлах атомная диффузия занимает важное место, поскольку известно, что существует немного металлургических процессов, которые не включают диффузию одного или нескольких компонентов. Что касается полупроводников, то любая термическая обработка включает атомную диффузию. В технологии полупроводников диффузионные процессы обеспечивают жизненно важный и основной способ изготовления легированных структур.
Комментарии к книге "Atomic Diffusion in Semiconductors"